中小企業庁は、研究開発費を計上している売上高上位の中小企業を対象に2014年6月9日から7月28日にかけて、郵送回収におけるアンケートの委託調査を実施した。
  「中小企業の試験研究税制（中小企業技術基盤強化税制）の利用実態等に関する調査」結果（回収数757社）によると、研究開発税制の認知度は、「知っている」の割合が最も高く52.2％と５割強となっている。次いで「聞いたことはあるが、あまり知らない」が30.3％、「知らない」は16.0％だった。
  また、研究開発税制の利用の有無は、「利用したことがない」の割合が最も高く67.7％、「利用したことがある」と回答した企業は30.6％だった。利用したことがない理由は、「研究開発を行っていない」が38.6％でトップ、次いで「研究開発税制の存在をよく知らなかった」が16.6％、「研究開発は行っているが、赤字決算が続いているため税額控除制度が受けられない」が12.5％となっている。

  研究開発税制の利用の有無を平成25年度に限定してみると、24.9％の企業が研究開発税制を利用しており、そのうち70.7％の企業が「総額型」の研究開発税制のみを利用、次いで「総額型＋増加型」が25.0％となっている。
  平成25年度について研究開発税制を利用しなかった理由をみると、最も多いのが「税法上の『試験研究費』が存在しなかった」の48.8％であり、次いで「当年度の利益はあるが、繰越欠損金があった」が16.0％となっている。
  また、「外部の技術・知識を活用した研究開発」であるオープンイノベーション型（特別試験研究費税額控除制度）に対する認知状況をみると、「知らない」の割合が最も高く55.1％となっている。「聞いたことはあるが、あまり知らない」が23.8％、「知っている」と回答した企業は9.1％と１割未満にすぎなかった。

  研究開発税制の効果をみてみると、研究開発税制を利用したことがある企業のうち、77.9%と約８割の企業が「効果があった」と回答。押し上げ率は「５%未満」が14.6%、「５%以上１０%未満」が13.7%となっている。押し上げ効果の割合が不明と回答した企業を除くと、平均的押上げ効果は7.6%と推計（各選択肢の中央値を用いて加重平均した値、「50％以上」については55％を用いて計算）される。
  また、研究開発税制による余剰キャッシュフローの影響（複数回答）を尋ねると、「影響はない」、「わからない」が高い割合となっており、それぞれ29.4%となっている。「研究開発に係る新たなテーマへの投資」は14.9％、「研究開発に係る設備への投資」が12.3％でこれらの回答が10％を超えている。

参考  ：

平成26年度中小企業技術基盤強化税制（国税）及び中小企業等の試験研究費に係る特例措置（地方税）の効果に関する調査（三菱ＵＦＪリサーチ＆コンサルティング）